设计者应对“ 用户 , 提出的设计要求进行 重新估价 ,长输管道氮气置换示意原理, 力求在技术上可行 , 经济上合理 , 对老管网 的改造工 程 还要 因地制宜 , 考虑走 向合理和施工方便 上无十四厂的高纯气体 输送系统改造工程 由子技术夹层无法穿越管 道和进行焊接施工 , 即采 用外墙 面敷设和 工 艺室 明管安装 、 尽管管道长了 , 但施工方便和 焊接上的可靠 , 达到 了改造 的予 期 效果 对 于部分老 管道 、 材质好 、 能置换干净而气密性 又好的就不该一律废 除 , 但无论 是新老 管道 其方案设计的终都应该满足下列要求 、 系统可 靠 , 能稳定供应和 输送高纯度 气体 , 整个系统应该 防振动 , 不 易 被 污染 , 气 密性要妊、 能连续运行、 留有一定余量 采用 液 态输送则要保证气源 充足 , 若用 钢瓶气则要 确保钢瓶周转余地 、 有高度 的安全性 。 由于 洁净厂 房多 数是无窗厂房 生产 中消耗可 燃性气体和 溶齐咬又多 , 因此输送系统的安全性特别重要 。
高纯气体输送系统配管施工要领
为了维护高纯气 体的洁净度 , 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 , 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 , 当然 , 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门, 管 子 内壁 附着灰尘 , 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 , 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 , 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 , 进行 全系统的气密性试验和耐压试验,长输管道氮气置换, 并对全 系 统进行大流量吹扫 , 准备各种检查 , 配管施工 的一般工序
验收 现场对管子 , 接头、 麟勺等进行 外观检查完好, 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 , 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先组织加工使工 程 不致等 待。 切断管子 , 必须按需要尺寸而定 ,长输管道氮气置换, 必须严 聆防止管子变形及修整毛初, 宜用高速切管 机 , 使切断端面垂直 , 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的, 不需现场洗净, 对 于 加工 , 切 断的管 子 , 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 , 时门及配件, 有 现成的系列产品和 专业公 司 首先 , 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 , 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 , 上无十西厂高纯气站改造工程 中, 我们qua面来用不锈钢管 自己酸洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 , 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 ,长输管道氮气置换氮气量计算, 脱脂 用弓或 , 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃, 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 , 杏则将增加内壁的粗糙。
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室,没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路,主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢,安装在天花板下方,沿着墙走,这样便于检查和维修。此外,中央试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口,便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置,排气管路不能并在一 起,盘管由不锈钢材料制成,有足够的韧性。减压阀要有标示,标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成,所 有气体管路有合适的接地保护措施。
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