然气管道氮气置换

管道使用前必须充入百氮气置换。

的主要成分是，具有可燃性，与氧气或空气混合时点燃有可能会发生。在空气中的极限下限为5%，上限为15%。

在没有通气体之前，管道里是空气，如果不用氮气置度换，通入可燃气体，可燃气体和空气混合，形成的混合气体具有性，浓度达到一定的范围，遇到火星或者流动中产生静电，就发生。

管道用氮气置换原理

一是氮气便宜，二内是与空气成分相对接近。氮气在空气中占78%左右，所以分离得到氮气非常便宜，而且氮气不活泼，通常情况下和可燃物一起不燃烧。

用氮气作为与空气间的隔容离介质，投产时推动氮气、氮气推动空气进行管道线路置换，从而使管道达到顺利投产条件。

实验室气路

实验室气路：指实验室气体工程，即从气瓶至仪器终端之间连接管线，一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。目前主流气路编排主要为实验室集中供气系统。

系统整体要求

实验室气体采用集中供气方式，天燃气管道的氮气置换，由实验室外专用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管（BA及）路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。所有减压器都需要连接一条通出气体存藏区的排气管路。、氧化气体排气管路不能并在一起。所有设计和施工必须符合相关的规范和要求，如：《科学实验室建筑设计规范》–JGJ 91-93；《氢气使用安全技术规程》-GB ；《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》-GB。

其他要求

不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。供气系统安装完成后，管道氮气置换，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。实验室“气体工程”是一项较为复杂，严谨的系统工程，需要专业的工程公司参与整体设计规划。

应用

气路系统主要应用于处理高纯度气体，或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备，是真正的针对实验室的气路系统。 主要应用在:实验室、电子微电子、石化、太阳能、分析仪器、电厂、生物制药、质量监督局、学校科研、原子吸收光谱法、废气分析、食品包装、近海行业、/工业激光行业等高科技领域。

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， C4F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，管道氮气置换，ClF3，燃气管道氮气置换，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

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