1 升压过程中氮气浓度对置换安全性的影响
为提高管道置换氮气的安全性，长输管道氮气置换，待氮气置换完成
后，施工人员应对管道进行升压，终完成氮气置换的过程。在
此过程中，如管道发生泄露，导致管道中的氮气浓度下降，容易
导致“窒息”等危险发生。此外，如管道超压，则可引发爆管。根
据《氮气使用安全管理规范》的要求，升压的过程中，施工人员
需对氮气对施工人员的危害、氮气排放区域等因素进行评估。
如未进行评估便着手施工，因氮气浓度不合理所导致的风险则
较容易发生。
3.2 升压过程险的预防
升压过程中，施工人员应加强防护，严格控制速度，提高风
险预防水平 ：(1) 加强防护 ：施工人员应穿戴好防护用品，确保
氮气浓度过高时，能过实现对自身安全的保护。(2) 控制速度 ：
为避免管道中的氮气发生泄露，导致氮气浓度降低，应将置换
速度控制在3m/s 至6m/s 之间，减少安全隐患。(3) 加强巡查：施
工人员应加强巡查，一旦发现漏点，需立即停止作业并予以处
理，确保管道中的氮气浓度达标。
4 结语
综上所述，管道置换氮气的过程中，管道置换氮气，氮气体积占混
合气体体积的比例应＞98%。置换的过程中，施工人员应穿戴
好防护用品，管道氮气置换，将注入速度控制在3 ～5m/s，将注氮温度控制在
5 ～15℃。在此基础上，加强巡查、清除明火，提高氮气注入的
安全性，提高置换过程的安全性。
危险气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，管道氮气置换，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
实验室气体管路（简称气路）是现代实验室必不可少的组成部分，气体管路为色谱仪、原子吸收、微库仑定硫、量热仪、微量硫分析等仪器提供安全可靠的气体，保证分析数据的准确性和延长仪器的使用寿命。可以说气路在现代实验室中的地位是举足轻重的。
例如气体管路实验室分析仪器，气体管路非标实验设备，气体管路连接及接头的设计加工。从气瓶房到实验室气体管路的气体管线，实验室内气路箱的设计安装，气体报警装置的设计安装。
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