作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，管道氮气置换，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，长输管道氮气置换，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
2储罐系统干燥及置换施工准备
储罐系统及现场施工准备
干燥及置换前，与干燥及置换相 关的所有储罐系统应完工，且必须经各相关单位等联合检查，并签字确认。
(I） 储罐安装、罐内接管安装、保冷安装、珍珠岩填充、罐内接地、仪表回路等工作完成确认g
(2） 完成低压泵安 装工作，对储罐进行封闭确认：
(3） 安全阀 和破真 空阀 按规定调 校完 毕并上 报相关资料
其隔离阀锁开。
现场施工其它工作准备
(I） 现场确保储罐顶部 、楼梯和地面有充分照明以便夜间操作g
(2） 氮气干燥和l置换区域周围设置标志，禁止未 授权人员进入置换现场 z
(3） 所有阅门按氮气干燥和置换要求 挂牌标识状态，必要时上锁保 护。
临时液氮气化系统的安装准备
(I） 液氮储罐的安装，天燃气管道氮气置换，按一般静置 设备基本要求进行 ，保证设备的垂直度符合要求；
(2） 临时气化器、加热器安装s
3 ）临时 液氮气化系统管线安 装及与系统氮气相连管道安装；
(4） 整个临时系统管 线的压力试验符 合要求。
干燥和置换工艺流程及区域划分
工艺流程
液氮气化系统的安装→ l临时氨气管线安装→液氮气化→储罐 A 区置 换→储罐 B 区置换 →储罐 C 区 置换 →储罐 D 区 置换→储罐进行加减压干燥置换→干燥和置换合格确认
储罐内部置换区域划分
首先要知道管道的水容积，也就是体积。其次要知道你冲氮气要达到什么压力，管道氮气置换方案，实际压力比大气压再乘以体积就是所需的氮气量。
氮气置换：
可燃性气体通过的管道或容器在使用前应使用氮气置换装置。目的是置换出管道内的空气，避免可燃气体与空气中的氧气形成可燃性混合物。危险进可能造成内燃或。氮气置换设备包含：氮气衔接收及所属配件、衔接收、氮气瓶及汽车槽车。其间，氮气瓶和槽车能够暂时向事端现场集结。
管道氮气置换-念龙化工-管道氮气置换方案由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（www.hnnlhg.com）是一家从事“高纯气体生产,标准气体经营,混合气体生产”的公司。自成立以来，我们坚持以“诚信为本，稳健经营”的方针，勇于参与市场的良性竞争，使“念龙”品牌拥有良好口碑。我们坚持“服务为先，用户至上”的原则，使念龙化工在工业气体中赢得了众的客户的信任，树立了良好的企业形象。 特别说明：本信息的图片和资料仅供参考，欢迎联系我们索取准确的资料，谢谢！
