整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ，管道氮气置换， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， 独立一路， 力避相互窜气干 扰 ，管道氮气置换， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
实验室气路安装设计规范
1.实验室的用气量、用气点以及使用的什么气体，
2.实验室的结构，
3.气体存储装置点，
4.用气实验台结构及规格形状
5.实验室所在建筑的结构。
6.管件及组件的选材，根据气体类别和实验室需求选择
实验室气路安装系统组成
主要由气源切换系统(一级减压系统)、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、球阀等组成。
储罐系统干燥和置换
储镶干燥和置换需用由液氮！临时气化系统提供来完成置换工作。｜临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入Tl 203 镶系统的氮气管网，再进储罐内部内罐内，控制其进入罐内的流量，保持内罐A 区、拱顶A 区与 B 区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 A 区、泵井和B 区循环。向储罐引人时，天燃气管道氮气置换，将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开，长输管道氮气置换，以 将储罐压力控制在 8( ± 0 . 5)
k.Pa，并安全放空置换用氮气与空气的？昆合气体。液氮临时气化 系统｛共应在开始时较低，在检查制氮装置的运行情况，且罐内形成氮气一空气界丽后，方可再缓慢纳加氮气供应量。
当内罐氧含量低于15%，对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%，对 B 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时，完成 A 区的干燥和置换工作。当 B 区的露dian低于－10℃且氧含量低于 4%时，B 区完成干燥和置换。当 B 区的氧含:!Jt低于 8%时，宦 接把 B 区的 氮气导人 C 区进行干燥和置换。调节八区 、B 区的氧气排放口的开度，使此二区的压力不得超过 I5 kPa ， B 区氮气将通过 raJ隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及＂＇幅板下部的干砂到达内罐底中心部位，并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。
C 区进行干燥和置换过程中，A 区、日区的压力必须控制始终大于 C 区的压力，以免产生储罐底部破坏。当C 区氧含量低于 8%时，可以对D 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时， C 区置换合格，继 续对 C 区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。
D 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l ， 从B 区平衡系统国流口引入喧与D 区相接顶角平衡口，再从底部平衡口置换出空气，控制 D 区的压力不可大于其它区的压力 ，同时保 持A 区、
B 区的压力不得超过 I 5kPa ，当底部平衡口处取样点的氧含于4%时，D 区置换合格，整个储罐完成干燥和置换。
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