2. 2. 1“压 力－时间”图分析
储罐系统下燥和置换先是对储罐八区 连续的充进氮气连续升压到约4kPa，然后罐顶部开始排放，再连续的调 节内罐A 区底部 充气及拱顶 A 区顶部排放的 状态下，缓慢升压至约8. 5kPa 时，稳压，保持进气与排气基本相同，连续干燥及置换约 24h。在72h 至 270h 干燥和置换区间段内采用了压涨式置换方法进行施工，使压力控制在 10( ± J )kPa 左右，直至储罐干燥和置换达到质量标准要求。在270h 至 330h 区间段时对罐内进行二次加减压排放的方式的干燥和置换，罐压力 升至 I 5kPa 后关闭所有排放，静琶!Oh 后，再以缓慢速度至5kPa ，加强巩固储罐系统干燥和置换的效果。储罐系统整个干燥和置换过程
共计使用了约 330h，创造了国内同类工程施工的新纪录，系统整个干燥和置换共计使用液氮量约l320t。
5. 2. 2“氧含量一时间、摇点－时间”图 分析
在开始干燥和l置换的前70h 的时间中，氧含 量下降到约为12%，跟点下降相对较为连续稳定在 5.0 左右时，连续连续干燥及置换的方式效果已不能满足施工的要求，及时调整为压涨式 的方法后，系统在每一轮的升压与泄压过程中逐渐接近质量合 将标准，在干燥必置换270h 之后进行二次加减压排放 ，氧含基本稳定，在合格的甚而上有微小降低，会随着次加压 升高而升高，排放时降低，前雨加压会有反复一定范围的波动，说明储罐在干燥及置换时气体内部混合交换不均匀，在第二次加减压排放后压力降低有 一到 5kPa 时与加压时高压点时的摇点基本相同，保持了稳定。达到了强制加强的效果。由此可见， 在施工中增加l一定范罔的压力及压涨的次数对干燥和置换的效 果较为明显。但这会增加液氮的使用及置换的整体时间。
科研实验室气路安装注意事项
1所有气体管路均由高质量、完全退火的无缝不锈钢管(BA及)制成。铜管仅在气体管路末端使用，对气体的纯
度要求不太严格。(例如通风橱).
2、气体安装管道不得敷设电缆和导线。
3.气体，如需要与其他气体分开引入。如果氢气管道与其他可燃物气体管道平行敷设，其间距不得小
于0.M交叉敷设时间间隔不得小于0.25米，分层敷设时氢气管道应位于上方.
4.压缩空气有净化装置，管道 氮气置换，用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联连接，燃气管道氮气置换方案，并通过单独的阀门分开，以
便于过滤装置的维护。
5.高纯度气体管路的连接是无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。
6、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7.应为通向工作台的气体管路安装单独的控制阀。各种气体控制阀应均匀排放在工作台上。建议在氨气管道前
安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右，气体管路需要一个支架。此外，根据气体管路弯曲半径，设置适当的支架位置。必须支持
所有弯曲。燃气管道安装管道的所有支架均应镀锌防腐处理。
科研气体管道材料和连接
1.气体管道纯度小于99.99%的应为10#或20#无缝钢管(内表面镀锌或净化处理)和铜管，镀锌管道带有螺纹。
2.总杂质含量s 10-100ppm的气体管道采用304不锈钢光亮退火管(304BA) 、304不锈钢管净化处理(304AP)
和紫铜管，管道通过焊接连接，燃气管道氮气置换氧含量，可以使用对焊、承插焊或套管焊。
3.总杂质含量s 1-10ppm的气体管道采用316升不锈钢光亮退火管(316LBA) 和304不锈钢电抛光管(304EP)
管道连接采用焊接、内壁无疤对焊和高纯气弧焊。
4.对于总杂质含量s1ppm的高纯度气体管道， 必须使用316升不锈钢电抛光管(3I6LEP) .管道连接应采用焊
接、内壁无疤对焊和高纯氙气保护焊在专用洁净室进行.例如， 管道PO 2、PH 2、PN 2、arr、He和N 2是不锈钢
316厘泊管道。CD A采用不锈钢304BA管。
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，管道氮气置换，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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